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  • 롤대롤 그라비아 인쇄기반 박막트랜지스터 제조방법, 박막트랜지스터 백플랜 제조방법, 백플랜 압력센서 및 스마트 장판의 제조방법

    관리번호 2021000631 발명자 조규진, 염치선
    소속학과 기술분야(6T)
    구분 공동 권리자
    참여기업 특허 사무소
    특허출원번호 10-2014-0165085 특허출원일자
    특허등록번호 10-1680433 특허등록일자
    기술개발단계 전기, 전자 협력희망내용
    기술개요 본 발명은 그라비아 인쇄장비(R2R,R2P gravure printing)를 이용하여 저가 및 대량생산이 가능한 100% 인쇄 박막트랜지스터 백플랜 제조 및 센서 배열에 관한 것이다. 발명은 그라비아 프린팅 장비를 이용하여 제조하는데, 롤투롤 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 소스 및드레인 전극, 절연층, 활성층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조하고, 롤투피 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 활성층 코팅 후 소스 및 드레인 전극, 절연층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조한다.
    본 발명에 의하면 기존의 리소그라피나 에칭 및 고온공정에 비해 많은 장점을 가진 그라비아 인쇄공정을 적용함으로써 저온 및 상압 공정이 가능하며, 대면적 인쇄 및 제조방법이 간단하고, 높은 생산성과 저비용 생산이 가능하다.
    기술특성 저가, 고속, 대면적, 양산에 있어서 큰 장점을 가진 롤대롤 그라비아 인쇄 기술을 사용한 TFT 및 TFT-백플랜을 제조하는 기술을 제공한다. 또한, 제조된 TFT-백플랜을 이용한 압력센서와, 이 압력센서를 이용한 스마트 장판을 제공한다.
    기대효과 및 사업성 본 발명에 의하면, 롤투롤 그라비아 인쇄장비와 롤투피 그라비아 인쇄장비를 이용해서 100% 인쇄공정을 통해 TFT 및 TFT-백플랜을 제조할 수 있어, 종래에 비해 저비용 고생산성의 구현이 가능하게 된다. 또한, 본 발명에 의하면, 종래의 실리콘 기반 기술을 대체할 수 있을 뿐 아니라, 탄소나노튜브와 각종 인쇄잉크의 활용을 통해, 유연한 디바이스에 적합한 TFT-백블랜을 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시형태에 의하면, 제조된 TFT-백블랜을 이용하여 압력센서를 만들 수 있고, 이와 같이 만들어진 압력센서를 이용하여 사람이나 동물의 움직임을 실시간으로 모니터링할 수 있는 스마트 장판을 제조할 수 있다.
    응용분야 초대형 벽지 형태의 디스플레이나, 두루마리 형태의 디스플레이, 자유롭게 휨이 가능한 디스플레이
    과제 고유번호 세부 과제번호
    부처명 연구관리 전문기관
    사업명
    과제명
    연구기간 주관기관
    기여율(%) 연구비(백만원)
    시제품 제작 사진 및 데이터(표)