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대학보유특허 상세정보
| 관리번호 | 2021000623 | 발명자 | 곽준섭, 조영제 | ||
| 소속학과 | 기술분야(6T) | ||||
| 구분 | 공동 권리자 | ||||
| 참여기업 | 특허 사무소 | ||||
| 특허출원번호 | 10-2010-0003977 | 특허출원일자 | |||
| 특허등록번호 | 10-1602834 | 특허등록일자 | |||
| 기술개발단계 | 전기, 전자 | 협력희망내용 | |||
| 기술개요 | 캐리어 노도 증가에 따른 전기적 특성이 향상된 산화물 박막 트랜지스터 및 이의 제조방법이 개시된다. 개시된 산화물 박막 트랜지스터는 게이트전극, 게이트전극의 적어도 일부 영역과 마주하도록 게이트 절연층을 사이에 두고 적층 증착되는 산화 채널전극 및, 상호 절연된 상태로 산화 채널전극과 각각 전기적으로 연결되도록 증착되는 소스전극 및 드레인전극을 포함하며 산화 채널전극은 아르곤(Ar) 및 헬륨(H2) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 가스 분위기로 증착 형성된다. 이러한 구성에 의하면, 산화 채널전극의 전기적 특성 향상에 기여할 수 있을 뿐만 아니라, 표면 거칠기 하향에 따른 표면 특성 향상에 기여할 수 있게 된다. | ||||
| 기술특성 | 전기적 특성과표면 특성을 향상시킬 수 있는 산화물 박막 트랜지스터를 제공한다. 또한, 상기와 같은 목적이 달성된 산화물 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다. | ||||
| 기대효과 및 사업성 | 산화물 박막 트랜지스터의 산화물 채널층을 형성할 때 아르곤과 수소 가스를 포함하는 혼합 가스 분위기에서 스퍼터링법으로 산화물층을 증착하여 산화물 채널층에 수소가 도핑이 되어 산화물층의 전기적 특성을 향상시키면서 동시에 표면거칠기를 낮추어 산화물 박막 트랜지스터의 전기적 특성을 향상시킨다. | ||||
| 응용분야 | 산화물 박막 트랜지스터, 디스플레이장치 | ||||
| 과제 고유번호 | 세부 과제번호 | ||||
| 부처명 | 연구관리 전문기관 | ||||
| 사업명 | |||||
| 과제명 | |||||
| 연구기간 | 주관기관 | ||||
| 기여율(%) | 연구비(백만원) | ||||
| 시제품 제작 사진 및 데이터(표) | |||||