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  • 각도 및 휨 검출 센서 제조방법 및 그 센서

    관리번호 2021000626 발명자 조규진, 선준봉
    소속학과 기술분야(6T)
    구분 공동 권리자
    참여기업 특허 사무소
    특허출원번호 10-2014-0157848 특허출원일자
    특허등록번호 10-1650630 특허등록일자
    기술개발단계 전기, 전자 협력희망내용
    기술개요 본 발명은 각도 및 휨 검출 센서 제조방법 및 그 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 롤투롤 그라비아 인쇄 공정으로 박막 트랜지스터 어레이 기반의 백플랜을 제조하고, 이 백플랜을 이용하여 X축과 Y축의 각도 변화 및 휨(curvature) 정도를 측정하는 센서를 제조하는 방법 및 그 센서에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 각도 및 휨 검출 센서 제조방법은, 롤투롤 그라비아 인쇄 공정으로 박막트랜지스터 백플랜을 제조하는 단계와, 상기 박막트랜지스터 백플랜 위에 인쇄에 의해 보호층을 형성하는 단계와, 상기 보호층상부에 유연한 플라스틱 케이스를 접착제로 접착시켜 밀폐된 공간을 형성하는 단계, 및 상기 밀폐된 공간을 제1액체로 충전하고 제2액체를 주입하는 단계를 포함하여 구성된다.
    기술특성 기존 반도체 제조 공정상에서 이뤄지는 박막트랜지스터 어레이 기반의 백플랜 제조 공정 대신에 롤투롤 인쇄전자 기술을 이용해서 박막트랜지스터 백플랜을 인쇄 제작한 후, 이를 기반으로 3차원 각도 위치 및 휨(curvature) 정도를 측정할 수 있는 센서를 제조함으로써 저가 및 대량 생산이 가능하고 연속 공정을 통해 높은 생산성을 얻을 수 있는 각도 및 휨 검출 센서 제조방법 및 그 센서를 제공한다.
    기대효과 및 사업성 상술한 과제의 해결 수단에 의하면, 기존 반도체 제조 공정상에서 이뤄지는 박막트랜지스터 어레이 기반의 백플랜 제조 공정 대신에 롤투롤 인쇄전자 기술을 이용해서 박막트랜지스터 백플랜을 인쇄 제작한 후, 이를 기반으로 3차원 각도 위치 및 휨 정도를 측정할 수 있는 센서를 제조함으로써 저가 및 대량 생산이 가능하고 연속 공정을 통해 높은 생산성을 얻을 수 있다. 또한, 유연한 인쇄 박막트랜지스터 백플랜의 제조에 그라비아 인쇄공정을 적용함으로써 저온 및 상압공정이 가
    능하며, 대면적 인쇄 및 제조 방법이 간단하고, 저비용 생산이 가능하다.
    응용분야 각도 및 휨 검출 센서, 플렉서블 디스플레이, 전자종이(E-paper), 늘어나는 회로인 이-스킨(E-skin), 월-페이퍼(wallpaper), 플렉서블 압력센서, 각속도, 가속도, 위치 등을 측정할 수 물리량 검출 센서, 주변 환경을 검출할 수 있는 화학센서
    과제 고유번호 세부 과제번호
    부처명 연구관리 전문기관
    사업명
    과제명
    연구기간 주관기관
    기여율(%) 연구비(백만원)
    시제품 제작 사진 및 데이터(표)