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대학보유특허 상세정보
관리번호 | 2021000650 | 발명자 | 조규진, 김유신 | ||
소속학과 | 기술분야(6T) | ||||
구분 | 공동 권리자 | ||||
참여기업 | 특허 사무소 | ||||
특허출원번호 | 10-2015-0025039 | 특허출원일자 | |||
특허등록번호 | 10-1731697 | 특허등록일자 | |||
기술개발단계 | 전기, 전자 | 협력희망내용 | |||
기술개요 | 본 발명은 반도체 제조 공정을 통해 제조되는 박막 트랜지스터 대신에 저가로 대량 생산이 가능한 롤대롤 그라비아 인쇄 공정으로 제조가능한 박막 트랜지스터 어레이를 이용하여, 두 가지 이상의 유기물이 섞여 있는 혼합물을 분리하여 분석하는 크로마토그래피에서 유기물 분석을 디지털 값으로 모니터링할 수 있는 센서, 이 센서를 포함하는 크로마토그래피 장치 및 상기 센서의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 센서는, 크로마토그래피용 컬럼에 배치되어, 유기물의 분리를 추적하기 위한 센서로, 상기 센서는, 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 게이트층, 유전체층, 활성층, 절연층, 및 소스/드레인 층을 포함하며 인쇄공정을 통해 형성된 박막 트랜지스터가 M×N개의 배열로 이루어진 박막 트랜지스터 어레이를 포함하고, 상기 박막 트랜지스터 어레이의 표면에는, 분석용 유기물로부터 상기 박막 트랜지스터 어레이를 보호할 수 있는 패시베이션층이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. | ||||
기술특성 | 2종 이상의 유기물이 섞여 있는 혼합물을 각각의 성분으로 분리 및 분석할 수 있는 박막 크로마토그래피, 컬럼 크로마토그래피 또는 고성능 액체 크로마토그래피(HPLC) 등에 적용하였을 때, 분리되는 유기물을 실시간으로 디지털화하여 모니터링할 수 있으며, 저비용으로 제조가 가능한 센서를 제공. 분리되는 유기물을 실시간으로 디지털화하여 모니터링할 수 있는 크로마토그래피 장치를 제공, 분리되는 유기물을 실시간으로 디지털화하여 모니터링할 수 있는 센서를 저가로 대량생산할 수 있는 방법을 제공한다. | ||||
기대효과 및 사업성 | 본 발명에 따른 센서는 인쇄공정을 통해 박막 트랜지스터 어레이를 형성하기 때문에 저가로 대량생산이 가능하며, 패시베이션층을 통해 분석용 유기물로부터 보호되는 박막 트랜지스터 어레이를 통해 이동상과 정지상의 인력 차이에 의해 도달하는 속도 차이가 있는 물질의 전기적 특성의 변화를 감지하여 전기적 신호를 발생함으로써, 크로마토그래피의 분리과정(예를 들어, 이동상인 액체의 유동 위치 및 속도 등)을 실시간으로 디지털화하여 모리터링할 수 있게 한다. 본 발명에 따른 크로마토그래피 장치는 박막 트랜지스터 어레이를 통해 분석용 유기물의 분리과정을 모니터링할 수 있으며, 본 발명에 따른 크로마토그래피 장치에서는 이동상 및 분석용 물질의 유동 특성을 높이면서 웨팅(wetting)이 쉽게 이루어지지 않으면서 박막 트랜지스터 어레이를 보호할 수 있는 패시베이션층이 구비되어 있어, 크로마토그래피 분석의 효율성을 높일 수 있다.본 발명에 따른 센서의 제조방법은 박막 트랜지스터 어레이와 패시베이션층을 포함하는 모든 공정을 인쇄공정을 통해 형성하므로, 저온 및 상압공정이 가능하게 되어 제조되는 센서의 제조비용을 크게 절감할 수 있을 뿐 아니라, 대면적으로 대량생산이 가능할 수 있다. |
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응용분야 | 플렉서블 디스플레이, E-페이퍼, E-스킨, 월-페이퍼(wall-paper), 유연압력센서, 각속도, 가속도, 위치 등을 측정할 수 물리량 검출 센서, 주변 환경을 검출할 수 있는 화학센서 | ||||
과제 고유번호 | 세부 과제번호 | ||||
부처명 | 연구관리 전문기관 | ||||
사업명 | |||||
과제명 | |||||
연구기간 | 주관기관 | ||||
기여율(%) | 연구비(백만원) | ||||
시제품 제작 사진 및 데이터(표) |