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대학보유특허 상세정보
| 관리번호 | 2022000896 | 발명자 | 김성현, 이지면, 김동철, 이명래, 임영안 | ||
| 소속학과 | 기술분야(6T) | ||||
| 구분 | 공동 권리자 | ||||
| 참여기업 | 특허 사무소 | ||||
| 특허출원번호 | 10-2016-0067550 | 특허출원일자 | |||
| 특허등록번호 | 10-2404922 | 특허등록일자 | |||
| 기술개발단계 | 전기, 전자 | 협력희망내용 | |||
| 기술개요 | 본 발명의 실시예에 따른 투명전도성산화물 박막의 제조 방법은, 제1 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 제2 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 상기 제1 폴리머 용액과 상기 제2 폴리머 용액을 혼합한 제3 폴리머 용액을 형성하는 단계와, 상기 제3 폴리머 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와, 상기 기판을 건조시켜 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계, 및 수소 플라즈마 처리 공정을 통해 상기 박막의 표면 처리를 실시하는 단계를 포함할 수 있다. | ||||
| 기술특성 | 본 발명의 실시예는 투명전도성산화물 박막의 제조방법에 관한 것이다. | ||||
| 기대효과 및 사업성 | 본 발명의 실시예에 따르면, 금속 이온을 포함한 폴리머 용액을 이용하여 기판 상에 투명전도성산화물로 이루어진 도전 박막을 형성하고, 수소 플라즈마 처리를 하여 상기 도전 박막의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 투명전도성산화물 박막의 제조 방법을 제공할 수 있다. | ||||
| 응용분야 | 디스플레이 분야, 조명 분야, 산업 분야, 메모리 반도체, 광전소자, 기억장치, 각종 센서 등 | ||||
| 과제 고유번호 | 세부 과제번호 | ||||
| 부처명 | 연구관리 전문기관 | ||||
| 사업명 | |||||
| 과제명 | |||||
| 연구기간 | 주관기관 | ||||
| 기여율(%) | 연구비(백만원) | ||||
| 시제품 제작 사진 및 데이터(표) | |||||